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    銷售咨詢熱線:
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    產(chǎn)品中心

    EUV/XUV波前傳感器

    描述:Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射),緊湊結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)光化性能檢測,包括EUVL 等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束,實(shí)時(shí)光學(xué)調(diào)整。

    更新時(shí)間:2025-05-09
    產(chǎn)品型號:XUV/EUV
    廠商性質(zhì):代理商
    詳情介紹
    品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
    應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

    主要特點(diǎn)

           Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射)

           緊湊結(jié)構(gòu)

           光化性能檢測

               -EUVL 等離子源

               -自由電子激光

               -HHG高次諧波束

           實(shí)時(shí)光學(xué)調(diào)整

           單個(gè)脈沖重復(fù)性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)


    EUV/XUV波前傳感器


    技術(shù)規(guī)格

           波長范圍:<1nm~60nm(量子轉(zhuǎn)換涂層)

           視場:9mmX6.7mm(可選更大尺寸)

           動(dòng)態(tài)范圍:14Bit

           Hartmann 盤:precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

           傾角:±10°

           XY調(diào)節(jié)范圍:±10mm

           UHV兼容:CF63法蘭

    EUV/XUV波前傳感器EUV/XUV波前傳感器

    Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

    (DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

    (below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

    Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )


    EUV/XUV波前傳感器

    Spot pattern @ λ=1.5 nm

    (LCLS / Stanford)


    EUV/XUV波前傳感器

    Reconstructed intensity profile


    光束測試軟件

    EUV/XUV波前傳感器


    測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)

    Parameter

    Standard

    Beam diameter光束直徑

    ISO 11146

    Divergence

    ISO 11146

    Beam profile光束剖面

    ISO 13694

    Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性

    ISO 11670

    M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性

    ISO 11146

    Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

    ISO 15367

    Coherence 相干

    -

    Around 20 various camera types are supported





    巨力光電(北京)科技有限公司立足于北京市副中心通州區(qū),專門經(jīng)銷歐洲、美國、日本等國家制造的科學(xué)儀器設(shè)備,為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務(wù)、技術(shù)支持。公司骨干在該行業(yè)有超過10年的經(jīng)驗(yàn),專業(yè)的服務(wù)水平、完善的售后服務(wù)體系。

    目前主要產(chǎn)品涉及材料科學(xué)、微納米技術(shù)、表面測量和光電器件、光伏產(chǎn)品、半導(dǎo)體器件的檢測與研發(fā)等領(lǐng)域。公司本著以科技為導(dǎo)向、以客戶為中心、以服務(wù)為宗旨,竭誠為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)!


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