三維表面輪廓儀是一種用于高精度測量物體表面三維形貌的精密計量儀器，廣泛應(yīng)用于電子、汽車、半導(dǎo)體、材料科學(xué)及工業(yè)檢測等領(lǐng)域。
三維表面輪廓儀的性能由關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)決定，不同應(yīng)用場景對參數(shù)的要求差異顯著，在選購時需重點(diǎn)關(guān)注以下指標(biāo)：
1、測量范圍：
包括橫向范圍(X/Y 軸，決定可測樣品的*大尺寸)和縱向范圍(Z 軸，決定可測表面的*大高度差)。
2、分辨率：
縱向分辨率：衡量區(qū)分表面微小高度差的能力，是核心指標(biāo)；
橫向分辨率：衡量區(qū)分表面微小橫向特征的能力，與光學(xué)系統(tǒng)的物鏡倍率、探測器像素有關(guān)。
3、測量精度：
指測量結(jié)果與真實(shí)值的偏差，通常包括線性誤差(Z 軸位移的線性度)、重復(fù)性誤差(多次測量同一位置的偏差)、平面度誤差(校準(zhǔn)平面的測量偏差)。
4、測量速度：
取決于掃描方式(逐點(diǎn)掃描、線掃描、面掃描)和數(shù)據(jù)處理效率：
結(jié)構(gòu)光投影式：面掃描，速度*快(毫秒級，適合在線檢測)；
原子力顯微鏡：逐點(diǎn)掃描，速度*慢(分鐘級，適合離線精密分析)；
白光干涉儀：線掃描，速度中等(秒級至分鐘級，兼顧精度與效率)。
5、樣品兼容性：
包括樣品的材質(zhì)(金屬、非金屬、透明 / 不透明、導(dǎo)電 / 絕緣)、尺寸(是否適配樣品臺)、表面狀態(tài)(光滑 / 粗糙、干燥 / 濕潤)。
