微納米圖案加工技術是現代科技領域中至關重要的一類加工技術，能夠在微米和納米尺度上實現對材料的準確加工和圖案化，廣泛應用于微電子、光電子、生物醫學、航空航天等眾多領域。以下是對其的綜述與分類：

激光無掩膜加工技術

· 激光直寫微納米加工技術：無掩膜（曝光）光刻技術/激光直寫技術利用激光的高能量、高精度特性，通過聚焦激光束掃描對基片表面的光刻膠直接進行精確變劑量曝光，可實現微米至納米尺度的圖案加工。常用于加工各種材料的微納米結構，如制作微納光學元件、生物芯片及傳感器和微機電系統器件（MEMS）等。具有加工精度高、靈活性強、非接觸式加工等優點；且無需掩膜版，節省了掩膜設計、制作、存儲、維護、及材料費用。

具體加工步驟：

    -計算機控制高精度激光束掃描，直接按照預先設計好的圖案對光刻膠進行曝光。在曝光過程中，需要精確控制激光的功率、波長、脈沖寬度、曝光時間以及掃描速度等參數。

    -曝光后的基片需要進行顯影處理，以去除未曝光或曝光不足的光刻膠，使圖案顯現出來。

    -如果需要將圖案轉移到基片上，在顯影之后通常還需要進行刻蝕工藝。根據基片材料和圖案要求選擇合適的刻蝕方法，如濕法刻蝕或干法刻蝕。

    -刻蝕完成后，需要去除基片表面剩余的光刻膠，最終獲得微納米圖案。

· 雙光子吸收光刻技術：利用飛秒激光的雙光子非線性吸收效應，使光刻膠在焦點處發生光聚合反應，實現三維微納米結構的加工。該技術具有很高的分辨率，能夠突破傳統光學光刻的衍射極限，可用于制造復雜的三維微納光學結構、生物組織工程支架等，但設備昂貴，加工速度相對較慢。

推薦產品：

            桌面型無掩膜光刻系統/無掩膜曝光系統Maskless lithography System

            臺式激光直寫系統Maskless Direct Laser Writing System

光刻技術類

· 光學光刻曝光技術（光刻機/曝光機）：通過光的照射，用投影方法將掩模上的圖形轉移到涂有光刻膠的基片上。主要包括紫外光刻等，隨著技術發展，波長不斷縮短以提高分辨率，如深紫外曝光技術等。其優點是可大規模生產、效率高，適用于制作高精度的微型結構陣列。但分辨率受光的波長限制，難以實現更小尺度的加工。

· 電子束光刻技術（EBL）：采用聚焦電子束與化學膠作用后獲得圖案化結構。電子束的波長極短，可獲得納米級甚至更高的分辨率，能實現復雜、高精度的納米圖案加工，常用于制作超精細的集成電路掩模、納米器件等。不過，該技術曝光效率低、設備昂貴，且存在電子散射導致的鄰近效應，影響圖案精度。

· 聚焦離子束光刻技術（FIB）：利用電透鏡將離子束聚焦成極細的束流，對材料進行加工。離子束的能量高、聚焦精度高，可實現亞納米級的加工精度，能用于對材料進行高精度的刻蝕、沉積等加工，在制作納米結構、量子器件等方面有重要應用。然而，設備復雜、成本高，加工效率也較低。

納米壓印技術類

· 熱納米壓印技術（NIL）：先將熱塑性聚合物光刻膠加熱至玻璃化轉變溫度以上，使其軟化，然后將帶有納米圖案的模板壓入光刻膠中，冷卻固化后脫模，實現圖案轉移。該技術分辨率高、成本低、效率高，可用于大規模復制納米圖案，如用于制造納米光學元件、微流控芯片等。但需要精確控制溫度和壓力，且模板的使用壽命有限。

· 紫外光固化納米壓印技術：使用紫外光固化的光刻膠，在室溫下將模板與光刻膠接觸，施加壓力并曝光，使光刻膠固化，隨后脫模得到圖案。其具有室溫操作、固化速度快、圖案保真度高、對環境要求相對較低等優點，適用于多種材料的加工，在生物醫學、光學等領域應用廣泛。

掃描探針顯微鏡（SPM）加工技術類

· 掃描隧道顯微鏡加工技術（STM）：利用掃描隧道顯微鏡的探針與樣品表面的相互作用，通過控制探針的位置和電流，實現對樣品表面原子或分子的操縱，可用于在原子尺度上加工納米結構、制作量子點等。該技術具有很高的分辨率，能精確控制加工位置，但加工速度慢，加工范圍有限。

· 原子力顯微鏡加工技術（AFM）：通過原子力顯微鏡的探針與樣品表面的力相互作用，對樣品表面進行刻蝕、沉積或操縱等加工。可用于加工納米級的表面結構、制作生物分子圖案等。其加工精度高，對樣品的損傷小，但同樣存在加工效率低的問題。

· 浸蘸筆納米加工刻蝕（DPN）：利用原子力顯微鏡的探針，將墨水（如有機分子、生物分子等）通過毛細作用轉移到樣品表面，實現納米級的圖案繪制。該技術可以在多種材料表面進行圖案化，適用于生物分子圖案化、納米器件制造等領域，能精確控制圖案的位置和形狀，但加工速度較慢，且對環境濕度等條件較為敏感。

· 局部陽極氧化納米加工技術（LAO）：通常基于原子力顯微鏡，通過在探針與樣品之間施加一定的電壓，使樣品表面發生局部氧化反應，形成納米級的氧化圖案?？捎糜谠诮饘?、半導體等材料表面制作納米結構，如納米線、納米點等，加工精度高，但加工效率較低，且氧化過程受材料特性和環境因素影響較大。

其他加工技術類

· 原子層刻蝕微納米加工技術（ALE）：基于原子層沉積的原理，通過精確控制化學反應和物理過程，在材料表面實現原子級精度的刻蝕?？梢詫Σ牧线M行非常精細的加工，能夠精確控制刻蝕的深度和形狀，適用于制造高精度的納米器件，但工藝復雜，設備成本高，目前主要處于研究和開發階段。

· 極紫外曝光（EUV）微納米加工技術：采用極紫外光作為曝光光源，其波長極短，能夠實現很高的分辨率，是制造超大規模集成電路中關鍵的光刻技術之一。不過，EUV 技術需要極其復雜和昂貴的光源系統以及高精度的光學元件，技術難度大，目前只有少數幾家公司掌握該技術。

· x 射線曝光微納米加工技術：利用 x 射線的短波長特性，可實現較高的分辨率，能夠突破光學光刻的衍射極限，適用于制造超精細的集成電路圖案等。但 x 射線曝光需要特殊的 x 射線光源和掩模，設備成本高昂，工藝復雜。

· 干涉曝光微納米加工技術：基于光的干涉原理，通過兩束或多束相干光在光刻膠上產生干涉條紋，實現周期性的微納米圖案曝光。該技術可以產生非常精細的圖案，且不需要掩模，適用于制作納米光柵、光子晶體等結構，但只能制作周期性的圖案，應用范圍有一定限制。

· 近場光學曝光微納米加工技術（SNOM）：利用近場光學原理，通過特殊的近場光學探針或結構，使光在亞波長尺度下實現局域化和高分辨率曝光。該技術可以突破傳統光學光刻的衍射極限，適用于納米尺度的圖案加工，但曝光區域較小，通常需要采用掃描等方式進行大面積圖案制作，加工速度較慢。

· 冰刻微納米技術

冰膠電子束光刻，簡稱冰刻，是一種新型微納加工技術。它以水蒸氣或其他氣體冷凝形成的固體冰薄膜取代傳統光刻膠進行電子束曝光。水冰薄膜經電子曝光后區域直接被去除，起“正膠" 作用；烷烴類和醇類等碳氫化合物冷凍形成的有機冰，未曝光區域在加熱至室溫后蒸發消失，起 “負膠" 作用。冰刻技術能夠簡化電子束光刻加工流程，具有容易去膠剝離、原位對準、適用于非平面襯底等特點，在三維微納加工領域優勢明顯。不過，冰刻工藝對儀器設備依賴性強，技術難度大，國際上相關研究組較少。

· 微接觸微納米印刷技術

這是一種軟光刻技術，利用彈性印章將圖案從模板轉移到基底上。首先將具有微納米結構的圖案制作在彈性印章上，然后將印章蘸取油墨或光刻膠等材料，與基底接觸，通過接觸壓力將圖案轉移到基底上。該技術可用于制作各種微納米圖案，尤其適用于生物分子圖案化、有機電子器件等領域，具有成本低、操作簡單、對基底要求低等優點，但圖案分辨率相對有限，一般適用于較大尺度的微納米圖案加工。

· 電化學微納米加工技術

通過將材料放入電解液中，并施加一定的電壓，利用電解、電鍍等方式控制腐蝕的速度和深度，從而制作出微納米結構。例如，在微納電極加工、微流控芯片制造等方面有應用。其優點是加工精度較高，可通過控制電壓、電流等參數精確控制加工尺寸和形狀，且對材料的適應性廣；缺點是加工效率相對較低，需要專門的電解液和電源設備，且對環境有一定污染。

· 微納米自組裝技術：利用分子或納米粒子之間的自組裝作用，形成具有特定圖案或結構的納米體系。如通過分子自組裝、納米粒子自組裝等方式，可制備出各種有序的納米結構，如納米線、納米管、納米陣列等。該技術具有成本低、可大規模制備等優點，但自組裝過程難以精確控制，圖案的復雜性和精度相對有限。

· 模板輔助微納米加工技術：使用具有特定結構的模板來引導材料的生長或沉積，從而形成微納米圖案。模板可以是多孔氧化鋁模板、光刻膠模板等。例如，通過在多孔氧化鋁模板的孔中填充金屬或半導體材料，可以制備出納米線陣列。這種方法可以精確控制圖案的尺寸和形狀，但模板的制備過程通常較為復雜，且模板的選擇和使用受到一定限制。